設備有(you)一個(ge)XY平臺，共有(you)超(chao)過(guo)15個(ge)運動(dong)軸。晶圓探針檢測(ce)需(xu)要(yao)非(fei)常精(jing)準的(de)測(ce)量，因此必(bi)須保證系統內的(de)電磁(ci)噪聲(sheng)超(chao)小(xiao)(xiao)。客(ke)戶不希望(wang)采用體積龐(pang)大、價格昂(ang)貴且需(xu)要(yao)大量時間(jian)來開發、組裝和測(ce)試的(de)外(wai)部EMI濾波組件。此外(wai)，運動(dong)整(zheng)定時間(jian)小(xiao)(xiao)于(yu)30毫秒和靜(jing)止(zhi)抖動(dong)小(xiao)(xiao)于(yu)100納米，同時提高整(zheng)體機器產(chan)能。  

解(jie)決方(fang)案：  

a.選擇Gold Solo Bell伺服驅動器和Platinum Maestro多軸運動控制器  

b.選擇Gold Solo Bell伺服(fu)驅動器(qi)，因為它足夠(gou)小，可以(yi)安裝在機器(qi)內(nei)和(he)移動負載上，并(bing)且足夠(gou)堅固，可以(yi)承受機械沖擊和(he)高加(jia)速(su)度。將驅動器(qi)安裝在機器(qi)內(nei)部(bu)無需(xu)電纜和(he)電纜載體進出機器(qi)，并(bing)且無需(xu)電氣柜，這些使得整個機器(qi)尺寸減(jian)少(shao)了大約30%。  

c.使(shi)(shi)用(yong)Gold Solo Bell，機(ji)器的運(yun)動(dong)整定時間減(jian)少(shao)到10ms以下(xia)，靜止抖(dou)動(dong)小(xiao)于20nm，大大低于要(yao)(yao)求(qiu)。該驅動(dong)器的極高功率轉(zhuan)換效(xiao)率使(shi)(shi)機(ji)器本(ben)身更加高效(xiao)，無需使(shi)(shi)用(yong)需要(yao)(yao)持續維護的耗能冷(leng)卻方法(fa)。  

e.Platinum Maestro被選為(wei)機器(qi)運動(dong)軸的(de)(de)主控制器(qi)。卓越的(de)(de)伺服(fu)驅動(dong)器(qi)和多(duo)軸控制能(neng)力相結合，縮短了探針之間的(de)(de)時間，顯(xian)著提高了整體產能(neng)。